MoO3/Mo NANOTUZULMALARINI OLISH VA ULARNING ELEKTRON TUZILISHI VA OPTIK XOSSALARINI O'RGANISH
Ключевые слова:
ионная имплантация, термическое окисление, спектроскопия вторичных электронов, наноструктурыАннотация
В данной работе с использованием комплексных методов вторичной электронной спектроскопии и фотоэлектронной спектроскопии исследована электронная структура и физико-оптические свойства нанопленок МоО3, образующихся на поверхности Мо методом бомбардировки Мо ионами О2+. Ширина запришенной зоны эти нанопленка MoO3 состовляло Eg = 3,4 эВ, 1,5 нм. При имплантации ионов O2+ в чистый Mo были изучены плотности делокализации и изменения валентных электронов в валентных зонах. Из полученных спектров видно, что валентные электроны рассеиваются в валентных зонах с разной плотностью, а пики и минимумы полученных спектров более своеобразны.
Библиографические ссылки
Коршунов А.В. // Размерные и структурные эффекты в процессах окисления металлов: монография.Томск, 2013. 360 с.
Миннеханов А.А., Вахрина Е.В. Константинова Е.А.,Кашкаров П.К. // Письма в ЖЭТФ. 2018. Т. 107. Вып. 4. С. 270.
Surovoi E.P., Surovaia V.E., Bugerko L.N. // J. Phys.Chem. A. 2013. V. 87. № 5. P. 826.
Ковивчак В.С., Панова Т.В. // Поверхность. Рентген., синхротр. и нейтрон. исслед. 2016. № 12. С. 41.
Гаврилов С.А., Белов А.Н. Электрохимические процессы в технологии микро- и наноэлектроники.М.: Высшее образование, 2009. 272 с.
Буназаров Д.Б., Касымов А.Х., Нормурадов М.Т., Пугачева Т.С. // Радиотехника и электроника. 1976.№ 7. С. 21.
Суровой Э.П., Суровая В.Э., Бугерко Л.Н. // Журн.физ. химии. 2013. Т. 87. № 5. С. 842.
Chary K.V.R., Reddy K.R., Gurram K. et al. // J. Catal.200. V. 226. № 2. P. 283.
Scanlon D.O., Watson G.W., Payne D.J. et al. // J. Phys.Chem. C. 2010. V. 114. P. 4636.
https://doi.org/10.1021/jp9093172
Kang M., Oh E., Kim I. et al. // Current Appl. Phys. 2012. V. 12. P. 489. doi . 2011. 08. 007
https://doi.org/10.1016/ j.cap
Bohne N.Y., Shevchenko F., Prokert J. // Nucl. Instrum.Methods Phys. Res. B. 2005. V. 24. Iss. 1–2. P. 157.
Bernd R., Claus H., Bernd R. // Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. B. 2000. V. 160. Iss. 3. P. 363.
Alov N.V. // Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. B.2007. V. 256. Iss. 1. P. 337.
Ivna K., Piltaverlavana J., Badovinac R. // Appl. Surf.Sci. 2017. V. 425. P. 416.
Алов Н.В., Леонов М.П. // Физика и химия обработки материалов. 1986. Т. 6. № 6. С. 94.
Умирзаков Б.Е., Ташмухамедова Д.А., Гулямова С.Т.,Аллаярова Г.Х. // ЖТФ. 2020. Т. 90. Вып. 5. С. 831.
Isakhanov Z.A., Mukhtarov Z.E., Umirzakov B.E., Ruzibaeva M.K. // Tech. Phys. 2011. V.56. Iss. 4. P. 546.
Donaev S.B., Djurabekova F., Tashmukhamedova D.A.,Umirzakov B.E. // Phys. Stat. Sol. C.2015. V. 12. Iss. 1–2. P. 89.
Эргашов Ё.С., Ташмухамедова Д.А., Раббимов Э. //Поверхность. Рентген., синхротр. и нейтрон. исслед. 2015. № 4. С. 38.
Алиев А.А., Шалимов З.Т. // Поверхность. Рентген.,синхротр. и нейтрон. исслед. 2003. № 8. С. 105.
Умирзаков Б.Е., Исаханов З.А., Рузибаева М.К., Ёркулов Р.М. // ЖТФ. 2019. Т. 89. № 6. С. 935.
Загрузки
Дополнительные файлы
Опубликован
Как цитировать
Лицензия
Copyright (c) 2024 Гулмира Аллаярова, Нурлибек Буронов , Шухрат Зарипов
Это произведение доступно по лицензии Creative Commons «Attribution» («Атрибуция») 4.0 Всемирная.
